1. General Information

• Model: 7701（7701A/E、7701C/E）

• Manufacturer: ZYGO（AMETEK）

• Type: Helium‑Neon（HeNe），Continuous Wave（CW），Two‑Frequency，Linearly Polarized Laser Head

• Application: Laser interferometry（e.g., ZMI‑2001/2002），semiconductor lithography，ultra‑precision positioning，optical metrology，machine tools

• Weight: 5.5 kg（12 lb）

• Dimensions: 450 × 100 × 80 mm（approx.）

• Warm‑up Time: < 30 min（full spec）；typical < 10 s（laser light out），max 70 s

2. Optical Performance

• Wavelength: 632.8 nm（vacuum）

• Output Power:

  • Min: > 300 µW（0.3 mW）

  • Typ: 550–1000 µW（0.55–1 mW）

  • Max: < 1 mW

• Beam Diameter: 6 mm（standard，25 m range）；3 mm（optional，2 m range）

• Polarization: Two orthogonal linear polarizations

• Frequency Difference（Beat Frequency）: 20 MHz ± 1600 Hz

• Wavelength Stability:

  • 24 h: ±0.01 ppm

  • Lifetime: ±0.1 ppm

• Beam Pointing Stability: < 0.1 arcsec/°C

• Usable Beam Length: 25 m（6 mm beam）；2 m（3 mm beam）

3. Electrical

• Power Supply: ±15 VDC（±0.5 V）

  • +15 V: 2.5 A

  • −15 V: 1.2 A

• Power Dissipation:

  • Warm‑up: 37 W

  • Operation: 27 W

4. Environmental

• Operating Temp: 10 °C to 30 °C

• Storage Temp: −40 °C to 75 °C

• Humidity: 0%–90% RH，non‑condensing

• Shock（Non‑op）: 40 G，11 ms，3 orthogonal axes

5. Key Features

• Dual‑frequency HeNe laser for high‑resolution interferometry

• Ultra‑stable wavelength（0.01 ppm/24 h）for sub‑nanometer measurement

• Low beam drift（<0.1 arcsec/°C）for long‑term precision

• Fast startup and low warm‑up power

• Compatible with ZYGO ZMI series interferometer boards（ZMI‑2001/2002/4104）

6. Typical Configuration

• 7701C/E: 6 mm beam，narrow feet，standard for ZMI systems

• 7701A/E: 3 mm beam，short‑range（2 m）applications